人工知能と高性能計算のニーズが激増する中、半導体業界は新たな成長を迎えています。中国本土のチップメーカーは、製造工程水準の向上という挑戦に直面しています。特に、先進パッケージング技術の応用において、自動化設備はより精密で、より高効率でかつ省エネでなければなりません。

ゴリテックのiTS磁気浮上スマート搬送ラインは、ケーブルレス技術、フレキシブルな作業工程設定および繰り返し位置決め精度レベルの高さにより、半導体生産に革命的な進歩をもたらします：

• 高効率でフレキシブル：iTSシステムでは、iTS Plannerソフトウェアを通じて各可動子を独立して制御できます。作業工程を自由に設定できるため、生産効率が大幅に向上し、ウエハ選別の多様化のニーズに対応します。
• 非常に高い安定性：iTSは、磁気浮上による無摩擦技術とコアレス設計を利用しており、リニア以外の区間においても安定性を維持し、ウエハの減耗を減少させ、良品率を向上させます。
• 高精度の位置決め：iTSは、円弧部分や継ぎ目部分でも高精度を維持し、ウエハ保存の安全性とデータのトレーサビリティの正確性を保証します。
• 低コストのメンテナンス：モジュール化設計により生産切換工程が簡略化され、アイドルタイムを削減します。iTSは省スペースで、繰り返し使用可能であり、かつ、メンテナンスコストが低いため、設備の使用効率と寿命を顕著に向上させます。

iTS磁気浮上スマート搬送ラインは、半導体製造分野において、効率の向上、コストの削減、製品品質を確保する上で理想的な選択肢です。